ریزکاو الکترونی [زمین‌شناسی]

وسیله‌ای برای تجزیۀ شیمیایی که در آن از باریکۀ بسیار متمرکزی از الکترون برای برانگیختن و گسیل پرتوهای ایکس از نقطه‌ای انتخابی در نمونۀ مشخصی استفاده شود؛ ترکیب شیمیایی نمونه را از روی بیناب پرتوهای ایکس معین می‌کنند