[برق و الکترونیک] ریز حسگر حسگر بسیار ریز که باروشهای ریز ماشینکاری ساخته می شود و از گروه ریز محرکهاست . یک نمونه از آنها زا یک زوج میله تا شده تشکیل می شود که بر ای حرکت ارتعاشی با ساختار سانه ای الکتروستاتیکی تنظیم شده است . ریز حسگرها می توانند کاربردهایی در پزشکی داشته باشند .
[پلیمر] ریز حسگر

میکروسنسور