[برق و الکترونیک] لیتوگرافی باریکه - الکترونی نوعی روش لیتوگرافی که طی آن پولک نیم رسانای پوشیده از رزیست در محفظه ی خلأ میکروسکوپ الکترونی قرار می گیرد وسپس باریکه ی الکترونی پویش گر تحت کنترل رایانه به آن تابیده می شود. با این روش می توان خطوط نازک در سطوح بسیار کوچک تولید کرد که در مدارهای مجتمع موردنیاز است . بعد از تابانیدن باریکه، پولک برای عملیات ظهور وسایر فرایندهای متداول تولید از محفظه ی خلأ خارج می شود.

لیتوگرافی پرتو الکترونی